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國(guó)內(nèi)外廣泛使用的切割線(xiàn)的優(yōu)缺點(diǎn)簡(jiǎn)介
作者:admin    發(fā)布日期:2019/4/9     關(guān)注次數(shù):      二維碼分享

隨著半導(dǎo)體、集成電路和光伏行業(yè)的發(fā)展,晶體硅、藍(lán)寶石、石英等硬脆晶體材料的應(yīng)用日益廣泛,對(duì)其切割加工技術(shù)提出了更高的要求。貴重材料晶體硅、藍(lán)寶石等要求鋸縫損耗小,尤其對(duì)于藍(lán)寶石,作為發(fā)光二極管(LED)較為理想的襯底材料,其強(qiáng)度高、硬度大,這給切割技術(shù)帶來(lái)了新的挑戰(zhàn)。

目前比較成熟的切割工藝為游離磨料線(xiàn)鋸切割技術(shù),即在切割的同時(shí)向鋸絲供應(yīng)帶有磨料的砂漿,但存在鋸縫損耗大,切割大尺寸坯料時(shí)磨料難以進(jìn)入到長(zhǎng)而深的切縫中,切割效率低、而且漿液難以回收,環(huán)境污染嚴(yán)重等問(wèn)題。另外,由于鋸切作用基于切割線(xiàn)、磨料及晶體硅之間的三體磨損原理,磨料必然作用于切割線(xiàn),從而縮短了其使用壽命。為了解決游離磨料切割方式存在的問(wèn)題,越來(lái)越多的人開(kāi)始研究固結(jié)磨料切割工具,主要集中在電鍍金剛石切割線(xiàn)和樹(shù)脂結(jié)合劑金剛石切割線(xiàn)。

陜西切割線(xiàn)


對(duì)比兩種固結(jié)方式的金剛石切割線(xiàn),各有優(yōu)缺點(diǎn)。電鍍金剛石切割線(xiàn)具有強(qiáng)度高、金剛石與基體結(jié)合力強(qiáng)、耐熱耐磨性好等特點(diǎn),不但能夠?qū)杈w等硬脆材料進(jìn)行精密切割,還可以實(shí)現(xiàn)成型加工,尤其適合于寶石、水晶、大尺寸硅晶體等貴重硬脆材料的切割。但電鍍金剛石切割線(xiàn)在制造過(guò)程中,電鍍層由鍍銅底層、金剛石磨粒層和鍍鎳外層復(fù)合而成,因此生產(chǎn)周期長(zhǎng),成本高。樹(shù)脂結(jié)合劑金剛石切割線(xiàn)采用樹(shù)脂涂覆固化工藝,生產(chǎn)周期短,成本低,比較適合用于硅片切割領(lǐng)域。但樹(shù)脂結(jié)合劑金剛石線(xiàn)存在金剛石與基體結(jié)合力低、耐熱耐磨性差、切割量小等缺點(diǎn)。

國(guó)外金剛石切割線(xiàn)的研究較成熟,如日本2006年成功將金剛石切割線(xiàn)投入工業(yè)化生產(chǎn),至2009年已占日本國(guó)內(nèi)切片市場(chǎng)的90%。國(guó)內(nèi)金剛石線(xiàn)切割技術(shù)起步較晚,2009年開(kāi)始用于藍(lán)寶石的切割,技術(shù)不斷進(jìn)步,逐步推廣應(yīng)用,目前是藍(lán)寶石較主要切割方式。而在晶硅領(lǐng)域,由于傳統(tǒng)切割設(shè)備改造不成熟、配套切割工藝不完善等原因,2014年以前一直處于試驗(yàn)推廣階段。兩種固結(jié)方式金剛線(xiàn)的研究并行,對(duì)電鍍金剛石切割線(xiàn)研究較多,樹(shù)脂結(jié)合劑金剛石切割線(xiàn)相關(guān)研究較少。目前有利用日本引進(jìn)技術(shù)生產(chǎn)的樹(shù)脂固結(jié)金剛石切割線(xiàn)企業(yè),也有利用國(guó)內(nèi)技術(shù)轉(zhuǎn)化生產(chǎn)電鍍金剛石切割線(xiàn)的企業(yè),產(chǎn)品已推向市場(chǎng),但國(guó)外進(jìn)口產(chǎn)品仍占主導(dǎo)地位。

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